로데슈바르즈, On-Wafer 디바이스의 특성화를 지원하는 테스트 솔루션 출시

로데슈바르즈(Rohde & Schwarz)와 폼팩터(FormFactor)는 On-Wafer 디바이스의 완전한 RF 퍼포먼스 특성화를 지원하는 테스트 솔루션을 출시했다. 로데슈바르즈의 고성능 벡터 네트워크 분석기인 R&S ZNA와 폼팩터(FormFactor)의 업계 선도적인 엔지니어링 프로브 시스템을 결합한 On-Wafer RF 퍼포먼스 특성화 솔루션은 반도체 제조사의 개발 단계 및 제품의 품질검증 과정, 그리고 생산 단계에서 안정적이고 재연 가능한 On-Wafer 디바이스 특성화 수행을 완벽하게 지원한다.

On-Wafer 측정을 수행하는 폼팩터(FormFactor)의 SUMMIT200 프로브 시스템과 측정을 수행하는 R&S ZNA. ©FormFactor

5G RF 프론트 엔드의 설계에서는 에너지 효율성의 최적화와 더불어 주파수 커버리지 및 출력 파워에 대한 적절한 RF 성능의 보장이 매우 중요하다. 이 과정에서 중요한 것은 설계에 대한 빠른 피드백을 확보하기 위해 RF 설계 검증을 최대한 빨리 수행하는 것으로, 이를 위해 웨이퍼 레벨에서의 성능 및 기능의 평가가 필요하다. On-Wafer 디바이스의 DUT 특성화를 위해서는 벡터 네트워크 분석기(VNA)와 프로브 스테이션, RF 프로브, 케이블 또는 어댑터, 그리고 전용 보정 방법(Calibration Method) 및 특정 DUT 또는 애플리케이션을 위한 보정 기판 등의 측정 시스템이 필요하다.

로데슈바르즈(Rohde & Schwarz)는 이러한 필수 측정을 지원하기 위해 R&S ZNA 고성능 벡터 네트워크 분석기와 67GHz 이상의 고주파수 어플리케이션을 지원하는 주파수 확장기 솔루션을 제공한다. 로데슈바르즈의 솔루션은 Coaxial 및 Waveguide 레벨에서 모든 RF 검증 파라미터의 특성화를 지원한다. 폼팩터(FormFactor)는 웨이퍼 접촉을 수행하는 수동, 반자동, 자동 프로브 시스템을 제공한다. 여기에는 열 제어 및 고주파수 프로브, 프로브 포지셔너와 보정 툴이 포함된다. R&S ZNA를 포함한 전체 테스트 시스템의 보정은 폼팩터의 WinCal XE Calibration 소프트웨어에서 완벽하게 수행된다.

사용자는 완벽하게 보정된 설정을 통해 R&S ZNA의 모든 테스트 기능을 사용할 수 있다. 일반적인 S-파라미터 테스트를 통한 필터 및 액티브 소자에 대한 특성화 뿐만 아니라, 전력 증폭기의 품질 검증에 필요한 왜곡과 게인 및 상호 변조 테스트까지 수행할 수 있다. 디바이스 대역폭 전반에 걸친 위상 특성화를 통한 믹서 주파수 변환 측정 또한 로데슈바르즈와 폼팩터 통합 솔루션에서 가능한 또 다른 측정 애플리케이션이다. 완전하게 보정된 설정은 VNA에 직접 적용할 수 있기 때문에 사후 처리가 적용되지 않은 모든 결과를 VNA에서 직접 가져오는 것도 가능하다. 로데슈바르즈의 주파수 확장기는 현재 6G 연구의 핵심인 D-밴드와 같은 서브 THz 주파수에도 적용이 가능하며, 프로브 스테이션에 통합이 가능하기 때문에 가장 짧은 케이블링의 적용과 프로브 팁의 케이블링으로 인한 손실 방지, 그리고 최적의 Dynamic Range를 실현한다.

On-Wafer 디바이스의 RF 특성 검증과 폼팩터 및 로데슈바르즈의 통합 솔루션에 대한 자세한 내용은 https://www.rohde-schwarz.com/_56279-1241099.html에서 확인할 수 있다

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